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申请/专利权人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心
摘要：本申请公开了一种光学元件表面颗粒污染诱导损伤判定装置及方法，涉及光学元件检测技术领域，该装置包括：激光系统、原位定位显微系统、在线透射率测量系统、原位光谱测试系统和上位机；激光系统向表面附着有颗粒污染物的待检测光学元件的表面发射激光；在线透射率测量系统用于测量待检测光学元件在激光辐照待检测光学元件之前和之后的透过率；原位光谱测试系统用于采集激光辐照待检测光学元件过程中的光谱信息；原位定位显微系统用于采集激光辐照待检测光学元件之前和之后待检测光学元件表面的图像；上位机根据两个透过率、光谱信息和两个图像判断待检测光学元件是否损伤。本申请可提高损伤判断的置信度。
主权项：1.一种光学元件表面颗粒污染诱导损伤判定装置，其特征在于，所述光学元件表面颗粒污染诱导损伤判定装置包括：激光系统、原位定位显微系统、在线透射率测量系统、原位光谱测试系统和上位机，所述原位定位显微系统、所述在线透射率测量系统、所述原位光谱测试系统均与所述上位机连接；所述激光系统用于向待检测光学元件的表面发射激光；所述待检测光学元件的表面附着有颗粒污染物；所述在线透射率测量系统用于测量所述待检测光学元件在所述激光辐照所述待检测光学元件之前的第一透过率，以及所述待检测光学元件在所述激光辐照所述待检测光学元件之后的第二透过率，并将所述第一透过率和所述第二透过率传输至所述上位机；所述原位光谱测试系统用于采集所述激光辐照所述待检测光学元件过程中的光谱信息，并将所述光谱信息传输至所述上位机；所述原位定位显微系统用于采集所述激光辐照所述待检测光学元件之前待检测光学元件表面的第一图像，以及所述激光辐照所述待检测光学元件之后待检测光学元件表面的第二图像，并将所述第一图像和所述第二图像传输至所述上位机；所述上位机用于根据所述第一透过率、所述第二透过率、所述光谱信息、所述第一图像和所述第二图像判断所述待检测光学元件是否损伤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种光学元件表面颗粒污染诱导损伤判定装置及方法
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