买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：江苏实为半导体科技有限公司

摘要：本发明公开的一种PVD加热盘，属于加热盘技术领域，包括外壳载盘和波纹管，所述外壳载盘下端设有加热器法兰，所述外壳载盘内安装有加热盘本体和水冷盘本体，所述加热盘本体上壁贴合外壳载盘内上壁设置，所述水冷盘本体设于加热盘本体下端，所述波纹管的上端设有波纹管上法兰，下端设有波纹管下法兰，所述波纹管上法兰与加热器法兰通过螺栓连接，所述波纹管下端通过波纹管下法兰安装有直线轴承，所述外壳载盘内还安装有中心轴。可自行进行分段检查加热盘和波纹管，快速定位漏点，无需额外的检测设置，加热器外壳及承载面使用不锈钢，加热盘本体使用热导率较高的金属，热量由加热盘本体传导至不锈钢承载面，可有效提升加热器的均温性能。

主权项：1.一种PVD加热盘，其特征在于，包括外壳载盘和波纹管，所述外壳载盘下端设有加热器法兰，所述外壳载盘内安装有加热盘本体和水冷盘本体，所述加热盘本体上壁贴合外壳载盘内上壁设置，所述水冷盘本体设于加热盘本体下端，所述波纹管的上端设有波纹管上法兰，下端设有波纹管下法兰，所述波纹管上法兰与加热器法兰通过螺栓连接，所述波纹管下端通过波纹管下法兰安装有直线轴承，所述外壳载盘内还安装有中心轴；所述波纹管内设有伸缩管，所述中心轴贯穿伸缩管设置，所述伸缩管的上端通过螺栓设于波纹管上法兰内侧壁上，伸缩管的下端通过螺栓设于波纹管下法兰内侧壁上，所述伸缩管与波纹管之间设有空腔一，空腔一为密封空间，伸缩管内部空间为空腔四；所述直线轴承内设有上折叠件、下折叠件、推动板和支撑板，所述支撑板设于直线轴承的下端，所述支撑板内侧壁与中心轴活动相连，且支撑板与中心轴外侧壁之间形成密封空间，所述支撑板上壁设有液压杆，所述推动板活动卡接设于直线轴承的内侧壁上，且推动板与液压杆的上端相连，所述上折叠件的上端通过螺栓设于波纹管下法兰内侧壁上，所述上折叠件的下端与推动板侧壁相连，所述下折叠件设于上折叠件的下端，所述下折叠件的上端与推动板侧壁相连，所述下折叠件的下端与支撑板相连，所述上折叠件、推动板以及直线轴承之间设有空腔二，所述下折叠件、推动板以及直线轴承之间设有空腔三，空腔二和空腔三为密封空间；所述加热器法兰底壁设有卡槽一，所述波纹管上法兰上壁上设有卡槽二，所述卡槽一和卡槽二均呈环形结构，所述卡槽一和卡槽二位置相对放置，所述波纹管上法兰内部设有通气腔一，波纹管上法兰底壁设有通气孔一，所述通气孔一设有多组，多组所述通气孔一呈环形等间隔均匀设于波纹管上法兰底壁上，所述通气孔一与通气腔一贯通连接，所述通气腔一与卡槽二贯通连接，所述通气孔一与空腔一贯通连接；所述加热器法兰和波纹管上法兰之间设有弹性垫片一，弹性垫片一为环形结构，所述弹性垫片一的上端设于卡槽一内，下端设于卡槽二内；所述直线轴承上壁上设有卡槽三，所述波纹管下法兰底壁上设有卡槽四，所述卡槽三和卡槽四均呈环形结构，所述卡槽三和卡槽四位置相对放置，所述波纹管下法兰内部设有通气腔二，波纹管下法兰上设有通气孔二，所述通气孔二设有多组，多组所述通气孔二呈环形等间隔均匀设于波纹管下法兰上，所述通气孔二与通气腔二贯通连接，所述通气孔二的上端与空腔一贯通连接，通气孔二的下端与空腔二贯通连接，所述通气腔二与卡槽四贯通连接；所述上折叠件的上端的一侧内部设有通气腔四，所述通气腔四与空腔二贯通连接，所述上折叠件的上端的一侧安装有导流管二，所述导流管二与通气腔四贯通连接，所述导流管二的上端与水冷盘本体底壁相连；所述水冷盘本体内设有水冷管和流通腔，所述流通腔设于水冷管的上端，所述水冷盘本体内还设有通气腔五，所述通气腔五的一端与导流管二的上端贯通连接，所述通气腔五的另一端与流通腔的一端贯通连接，所述外壳载盘内设有空腔六，所述加热盘本体以及水冷盘本体均设于空腔六内，所述流通腔的另一端与空腔六贯通连接，所述上折叠件和下折叠件之间设有空腔五，所述空腔六、空腔四和空腔五贯通设置，所述支撑板上壁和推动板上壁均设有压力传感器，所述支撑板上壁上的压力传感器设于空腔五中，所述推动板上壁上的压力传感器设于空腔二中；所述支撑板内部设有通气腔三，所述支撑板上壁上安装有导流管一，所述导流管一设于空腔五，所述通气腔三的一端与导流管一贯通连接，所述通气腔三的另一端与空腔三贯通连接，所述导流管一和导流管二内均设有控制阀。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏实为半导体科技有限公司 一种PVD加热盘及生产去气方法