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申请/专利权人：深圳市瀚强科技股份有限公司

摘要：本申请提供一种射频电源设备及射频电源系统，涉及射频技术领域，射频电源设备包括射频发生单元、第一频率选择单元以及第一信号处理单元；射频发生单元的输出端用于输出多个射频信号，多个射频信号中至少一个射频信号的频率与其他射频信号的频率不同；第一频率选择单元连接于射频发生单元的输出端与第一负载之间，第一频率选择单元用于选择频率为目标频率的一个或多个射频信号通过，并选择频率为非目标频率的其他射频信号不通过；第一信号处理单元连接于第一频率选择单元与第一负载之间，第一信号处理单元用于根据通过第一频率选择单元的一个或多个射频信号得到第一目标射频信号，并输出至第一负载。本申请可向第一负载输出第一目标射频信号。

主权项：1.一种射频电源设备，用于至少向第一负载输出第一目标射频信号，其特征在于，所述射频电源设备包括：射频发生单元，包括输出端，所述射频发生单元的输出端用于输出多个射频信号，所述多个射频信号中至少一个射频信号的频率与其他射频信号的频率不同；第一频率选择单元，连接于所述射频发生单元的输出端与所述第一负载之间，所述第一频率选择单元用于选择频率为目标频率的一个或多个射频信号通过，并选择频率为非目标频率的其他射频信号不通过；第一信号处理单元，连接于所述第一频率选择单元与所述第一负载之间，所述第一信号处理单元用于根据通过所述第一频率选择单元的一个或多个射频信号得到所述第一目标射频信号，并输出至所述第一负载；所述第一频率选择单元包括谐振电感和谐振电容，所述谐振电感和所述谐振电容串联连接于所述射频发生单元的输出端与所述第一负载之间，所述谐振电感与所述谐振电容的串联谐振频率为所述第一频率选择单元的目标频率，且所述谐振电容为可变电容，调节所述谐振电容的电容值，以调节所述串联谐振频率；在向所述第一负载输出所述第一目标射频信号达到第一预设时间时，调节所述谐振电感和所述谐振电容的串联谐振频率，以调节所述第一频率选择单元的目标频率，使得第三目标射频信号输出至所述第一负载；其中，所述第一目标射频信号的频率与所述第三目标射频信号的频率不同，所述第一目标射频信号与所述第三目标射频信号的相位相同，所述第一目标射频信号与所述第三目标射频信号的幅值不同。

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