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申请/专利权人：青岛四方思锐智能技术有限公司
摘要：本发明属于半导体技术领域，公开了一种射频加速段的加速器、射频加速段及离子注入机，加速器包括能量筛选器和多个加速单元，前两个加速单元之间设有能量筛选器，能量筛选器用于将离子束流中低于预设能量的离子剥离。射频加速段包括聚束组件、聚焦透镜和上述加速器，聚束组件用于将离子束流聚束形成聚束束流，聚焦透镜设置在聚束组件的下游，用于将聚束束流聚焦，射频加速段的加速器设置在聚焦透镜的下游。离子注入机包括离子源、质量分析器和上述射频加速段。本发明在加速器前期加入能量筛选器，筛选掉低能离子，使得离子束中不含有或含有极少量低能离子，使得离子束在后续的加速过程中能散更小，损失更少，保证整体流强；降低对器件的损坏。
主权项：1.一种射频加速段的加速器，其特征在于，包括能量筛选器和多个加速单元，前两个所述加速单元之间设有所述能量筛选器，所述能量筛选器用于将离子束流中低于预设能量的离子剥离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛四方思锐智能技术有限公司 射频加速段的加速器、射频加速段及离子注入机
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