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申请/专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
摘要：本申请提供了一种加速度传感器及电子设备，该加速度传感器包括：衬底；质量块，其中，质量块包括第一区域和第二区域，质量块与衬底可动连接，以使得在第一区域和第二区域围绕垂直于质量块所在平面的Z轴扭转时，加速度传感器检测X方向上的加速度，X方向位于平面内。本申请实施例提供的加速度传感器能够显著减小质量块的尺寸以及芯片面积，进而实现加速度传感器的小型化。
主权项：1.一种加速度传感器，其特征在于，包括：衬底；质量块，其中，所述质量块包括第一区域和第二区域，所述质量块与所述衬底可动连接，以使得在所述第一区域和所述第二区域围绕垂直于所述质量块所在平面的Z轴扭转时，所述加速度传感器检测X方向上的加速度，所述X方向位于所述平面内；所述质量块上设置有沿所述X方向延伸的第一弹簧梁，所述第一弹簧梁位于所述第一区域和所述第二区域之间，所述第一区域和所述第二区域之间通过所述第一弹簧梁的中部相互连接；所述质量块上设置有沿所述X方向延伸的第二弹簧梁和第三弹簧梁，所述第二弹簧梁位于所述第一区域的外侧，所述第三弹簧梁位于所述第二区域的外侧，在所述第一区域和所述第二区域沿Y方向运动时，所述加速度传感器检测所述Y方向上的加速度；所述衬底上设置有第一固定点和第二固定点，所述第一固定点与所述第二弹簧梁连接，所述第二固定点与所述第三弹簧梁连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 加速度传感器及电子设备
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