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申请/专利权人：安徽博泰微电子有限公司
摘要：本发明公开了一种电容式加速度计，涉及加速度计技术领域。本发明包括衬底、结构层和盖板加速度计采用三层硅结构；衬底和盖板的材质均为双面剖光的N型硅，结构层的材料为为重掺杂的P型硅；结构层中分别设置有加速度计的硅边框、质量块、支撑梁和若干对敏感电容；支撑梁上连接有质量块和锚点，并使得质量块处于悬空状态；敏感电容包括固定电极和移动电极，固定电极与锚点相连，移动电极与质量块相连；敏感电容用于将质量块的位移量转变为电容的变化量。本发明通过加速度计采用三层硅结构及其制造方法，从而具有较强的抗冲击能力，封装应力对加速度计性能的影响小，交叉轴干扰小，且加速度计的制造流程简单的优点。
主权项：1.一种电容式加速度计，其特征在于：所述加速度计包括衬底1、结构层2和盖板3；所述加速度计采用三层硅结构；所述衬底1和盖板3的材质均为双面剖光的N型硅，所述结构层2的材料为为重掺杂的P型硅；所述结构层2中分别设置有加速度计的硅边框、质量块4、支撑梁5和若干对敏感电容6；所述支撑梁5上连接有质量块4和锚点7，并使得质量块4处于悬空状态；所述敏感电容6包括固定电极8和移动电极9，所述固定电极8与锚点7相连，所述移动电极9与质量块4相连；所述敏感电容6用于将质量块4的位移量转变为电容的变化量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽博泰微电子有限公司 一种电容式加速度计及其制造方法
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