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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种微机电加速度传感器和用于运行微机电加速度传感器的方法。微机电加速度传感器，具有衬底、第一和第二摇摆件。摇摆件分别通过弹簧元件与布置在衬底上的锚固装置连接并能够绕着平行于衬底延伸的旋转轴线旋转地支承。第一摇摆件关于旋转轴线具有不对称的质量分布，第二摇摆件关于旋转轴线具有对称的质量分布。第一摇摆件包括具有对称质量分布的框架结构和附加质量。框架结构具有第一框架和第二框架。框架关于垂直于旋转轴线且平行于衬底的方向布置在旋转轴线的相对置的侧上。第一框架围绕第一槽口，第二框架围绕第二槽口。附加质量布置在第一槽口中并且通过另外的弹簧元件与第一框架连接。
主权项：1.一种微机电加速度传感器1，具有：衬底、第一摇摆件100和第二摇摆件200，其中，所述第一摇摆件100通过第一弹簧元件101与布置在所述衬底上的第一锚固装置102连接并能够绕着平行于所述衬底延伸的旋转轴线2旋转地支承，并且所述第二摇摆件200通过第二弹簧元件200与布置在所述衬底上的第二锚固装置202连接并能够绕着所述旋转轴线2旋转地支承，其中，所述第一摇摆件100关于所述旋转轴线2具有不对称的质量分布，并且所述第二摇摆件200关于所述旋转轴线2具有对称的质量分布，其中，所述第一摇摆件100包括具有对称质量分布的框架结构103和包括附加质量104，其中，所述框架结构103具有第一框架105和第二框架106，其中，所述第一框架105和所述第二框架106关于垂直于所述旋转轴线2且平行于所述衬底的方向布置在所述旋转轴线2的相对置的侧上，其中，所述第一框架105围绕第一槽口107并且所述第二框架106围绕第二槽口108，其中，所述附加质量104布置在所述第一槽口107中并且通过另外的弹簧元件与所述第一框架105连接。
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