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申请/专利权人：西安航天动力研究所;西安交通大学
摘要：本发明公开了一种双冗余薄膜压力加速度集成式传感器及其制备方法，属于薄膜压力加速度集成式传感器技术领域，该传感器包括两个对接的薄膜压力传感器芯体和压力导通管路，薄膜压力传感器芯体包括压力敏感膜片，压力敏感膜片外表面设置有绝缘层，绝缘层上设置有应变电阻和电极，电极上设置有焊球；压力敏感膜片位于外侧；两个对接的薄膜压力传感器芯体均与压力导通管路固定连接。本发明解决了现有薄膜压力传感器在恶劣环境下，出现损坏以及失效，以及热干扰导致测量精度较差问题，同时解决了传统双冗余传感器体积较大等问题，稳定性能以及使用寿命大大提升，还可实现振动的高灵敏度测量。
主权项：1.一种双冗余薄膜压力加速度集成式传感器，其特征在于：包括两个薄膜压力传感器芯体和压力导通管路6；所述薄膜压力传感器芯体包括压力腔壁和压力敏感膜片，所述压力敏感膜片连接于压力腔壁，所述压力敏感膜片下方为压力空腔；所述压力敏感膜片外表面设置有绝缘层，所述绝缘层上设置有应变电阻和电极；所述两个薄膜压力传感器芯体的压力腔壁对接，所述压力敏感膜片位于外侧，两个薄膜压力传感器芯体的压力空腔均与压力导通管路6连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安航天动力研究所 西安交通大学 一种双冗余薄膜压力加速度集成式传感器及其制备方法
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