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申请/专利权人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘要:本发明公开了一种Mini‑LED显示模组的制备方法,包括:以第一转移基底将Mini‑LED芯粒阵列转移到第二转移基底上,并通过牺牲材料将Mini‑LED芯粒阵列固定在第二转移基底表面,且使其中各芯粒具有电极的第一表面远离第二转移基底设置;至少在各芯粒之间填充隔离材料;使各芯粒的电极暴露出,并制作与各芯粒的电极电连接的第一导电线路,以将各芯粒串联和或并联设置;制作与所述第一导电线路匹配的第一焊点;利用所述第一焊点将固定于第二转移基底上的Mini‑LED芯粒阵列与目标基板结合,之后去除所述牺牲材料,以将所述第二转移基板移除。本发明将后道大批量的Mini‑LED芯片封装转移到前道的半导体加工工艺中,降低了封装成本,提升了封装效率。
主权项:1.一种Mini-LED显示模组的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:S1、将Mini-LED芯粒阵列设置于临时基底上,且使各芯粒具有电极的第一表面远离临时基底;S2、将分布于临时基底上的Mini-LED芯粒阵列转移到带有凹槽阵列的第一转移基底上,并使其中各芯粒至少部分嵌入在第一转移基底上的相应凹槽中,且使各芯粒的第二表面远离第一转移基底设置,所述第二表面与第一表面相背对;S3、将Mini-LED芯粒阵列从第一转移基底上转移到第二转移基底上,并通过牺牲材料将Mini-LED芯粒阵列固定在第二转移基底表面,且使其中各Mini-LED芯粒具有电极的第一表面远离第二转移基底设置,然后至少在各Mini-LED芯粒之间填充隔离材料;S4、使各Mini-LED芯粒的电极暴露出,并制作与各Mini-LED芯粒的电极电连接的第一导电线路,以将各Mini-LED芯粒串联和或并联设置,以及制作与第一导电线路匹配的第一焊点;S5、利用第一焊点将固定于第二转移基底上的Mini-LED芯粒阵列与目标基板结合,之后去除牺牲材料,以将第二转移基板移除;步骤S2-S3中Mini-LED芯粒阵列被转移到第一转移基底和第二转移基底中的任一者上时,其中各Mini-LED芯粒的位置均无偏移。
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权利要求:
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