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申请/专利权人：深圳金美新材料科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种真空互通阀，包括阀体、阀盖和气缸，所述阀体的第一端端部、第二端端部分别设有第一连接口、第二连接口，所述阀体的外壁形成有抽气通道，所述第一连接口、第二连接口和抽气通道均与所述阀体的内部连通，所述阀盖滑动设置在所述阀体内，所述气缸密封安装在所述第一连接口处，所述气缸的气缸杆的末端伸入到所述阀体内并通过连接机构与所述阀盖连接，所述气缸用于通过所述连接机构驱动所述阀盖朝靠近或远离所述第二连接口的方向滑动；所述连接机构包括调整套和多个浮动杆。本实用新型可提高真空仓的密封性，保证了镀膜质量。
主权项：1.一种真空互通阀，包括阀体、阀盖和气缸，所述阀体的第一端端部、第二端端部分别设有第一连接口、第二连接口，所述阀体的外壁形成有抽气通道，所述第一连接口、第二连接口和抽气通道均与所述阀体的内部连通，所述阀盖滑动设置在所述阀体内，所述气缸密封安装在所述第一连接口处，其特征在于，所述气缸的气缸杆的末端伸入到所述阀体内并通过连接机构与所述阀盖连接，所述气缸用于通过所述连接机构驱动所述阀盖朝靠近或远离所述第二连接口的方向滑动；所述连接机构包括调整套和多个浮动杆，所述调整套位于所述阀盖和气缸杆的末端之间，所述阀盖、调整套以及气缸杆三者的轴线重合，所述调整套的第一端端部设有调整槽，所述气缸杆的末端设有连接头，所述连接头与所述调整槽滑动插接配合，所述连接头可在所述调整槽内朝靠近或远离所述第二连接口的方向滑动，所述多个浮动杆围绕所述调整套的轴线呈环形间隔分布，所述多个浮动杆的第一端分别与所述调整套连接，所述阀盖的第一端端部设有与所述多个浮动杆的第二端分别对应的多个阀盖帽，所述阀盖帽的远离所述阀盖的一端端部设有浮动槽，所述多个浮动杆的第二端分别设有一浮动头，所述浮动头与对应的阀盖帽的浮动槽滑动插接配合，所述浮动头可在对应的浮动槽内朝靠近或远离所述第二连接口的方向滑动。
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百度查询： 深圳金美新材料科技有限公司 一种真空互通阀
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