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申请/专利权人：久钻科技(成都)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种热丝等距布置装置，涉及金刚石膜制备技术领域；为了解决现有布丝方式会导致断丝、无法改变丝间距的问题，提出以下技术方案：包括：电极杆、套设在电极杆上的多个热丝定位组件，每个热丝定位组件的顶部滑动连接了一条热丝，热丝定位组件上设有用于设定相邻热丝之间距离的距离定位柱，距离定位柱与热丝定位组件可拆卸连接，且距离定位柱在电极杆上按照等差数列依次分布。本实用新型在用于HFCVD法制备金刚石膜时热丝的等距布置能显著提高加工质量和效率，本发明采用耐高温且绝缘的等差柱进行确定热丝距离，解决了传统布丝装置的断丝和丝距改变的缺陷和不足。
主权项：1.一种热丝等距布置装置，其特征在于，包括：电极杆7、套设在所述电极杆7上的多个热丝定位组件，每个所述热丝定位组件的顶部滑动连接了一条热丝1，所述热丝定位组件上设有用于设定相邻所述热丝1之间距离的距离定位柱6，所述距离定位柱6与所述热丝定位组件可拆卸连接，且所述距离定位柱6在所述电极杆7上按照等差数列依次分布。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 久钻科技(成都)有限公司 一种热丝等距布置装置
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