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储液槽及水电镀设备 

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申请/专利权人:深圳金美新材料科技有限公司

摘要:本实用新型公开了一种储液槽及水电镀设备。储液槽包括槽体、防气泡组件、进液管和出液管。所述槽体上设置有容置空腔;所述防气泡组件安装在所述容置空腔内,并将所述容置空腔分隔为第一空腔和第二空腔,所述第一空腔与所述第二空腔之间通过过流通道连通,所述防气泡组件包括至少一块第一止挡板;所述进液管与所述第一空腔连通;所述出液管与所述第二空腔连通。本实用新型可以解决现有技术中的电镀液从储液槽输送至电镀槽时容易带入气泡,影响电镀效果的问题。

主权项:1.一种储液槽,其特征在于,包括:槽体10,所述槽体10上设置有容置空腔11;防气泡组件20,所述防气泡组件20安装在所述容置空腔11内,并将所述容置空腔11分隔为第一空腔111和第二空腔112,所述第一空腔111与所述第二空腔112之间通过过流通道连通,所述防气泡组件20包括至少一块第一止挡板21;进液管30,所述进液管30与所述第一空腔111连通;出液管40,所述出液管40与所述第二空腔112连通。

全文数据:

权利要求:

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