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申请/专利权人：弘塑科技股份有限公司
摘要：一种具备回收装置之基板处理设备，其包含旋转台、液体供应装置以及回收装置。旋转台用以放置基板；液体供应装置设置于该旋转台上方，对基板施加复数个工艺液体，复数个工艺液体包含第一工艺液体及第二工艺液体；回收装置用以回收第一工艺液体及第二工艺液体，且包含第一回收环及第二回收环；第一回收环环绕地设置在旋转台的周围，且相对于旋转台作垂直方向移动；第二回收环环绕地设置在旋转台的周围，配置于第一回收环下方，且相对于旋转台于该垂直方向移动。借此，所述具备回收装置之基板处理设备可避免回收药水及废水交叉污染之问题。
主权项：1.一种具备回收装置之基板处理设备，其特征在于，所述基板处理设备包含：旋转台，用以放置基板；液体供应装置，设置于所述旋转台上方，对所述基板施加复数个工艺液体，所述复数个工艺液体包含第一工艺液体及第二工艺液体；以及回收装置，用以回收所述第一工艺液体及所述第二工艺液体，包含：第一回收环，环绕地设置在所述旋转台的周围，且相对于所述旋转台于垂直方向移动；及第二回收环，环绕地设置在所述旋转台的周围，配置于所述第一回收环下方，且相对于所述旋转台于所述垂直方向移动；其中，所述第一回收环及所述第二回收环依序于所述垂直方向上移动，并依序形成第一开口及第二开口；所述第一开口形成于所述第一回收环及所述第二回收环之间，所述第二开口形成于所述第二回收环及所述旋转台之间。
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权利要求：
百度查询： 弘塑科技股份有限公司 具备回收装置之基板处理设备
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