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真空吸附平台和具有其的检测设备 

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申请/专利权人:合肥九川智能装备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种真空吸附平台和具有其的检测设备,真空吸附平台包括第一基座、第二基座和吸附单元,第二基座与第一基座配合以共同限定出多个间隔设置的吸附腔,多个吸附腔适于分别与不同的负压源连接,第二基座的背离第一基座的一侧形成有多个第一吸附孔,每个吸附腔分别与对应多个第一吸附孔连通;每个第一吸附孔处分别设有一个吸附单元,每个吸附单元包括多个间隔设置的真空吸盘。根据本实用新型实施例的真空吸附平台具有较好的吸附密度和吸附稳定性,可以实现面吸附效果。

主权项:1.一种真空吸附平台,其特征在于,包括:第一基座;第二基座,所述第二基座与所述第一基座配合以共同限定出多个间隔设置的吸附腔,多个所述吸附腔适于分别与不同的负压源连接,所述第二基座的背离所述第一基座的一侧形成有多个第一吸附孔,每个所述吸附腔分别与对应多个所述第一吸附孔连通;吸附单元,每个所述第一吸附孔处分别设有一个所述吸附单元,每个所述吸附单元包括多个间隔设置的真空吸盘。

全文数据:

权利要求:

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