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申请/专利权人：苏州迅微纳半导体科技有限公司
摘要：本发明揭示一种电容式薄膜真空计，其包括外壳、金属薄膜压力感应单元、第一加热组件、第二加热组件和温度控制单元。外壳包括内壁和由内壁围设形成的收容空间。金属薄膜压力感应单元悬置于收容空间中。第一加热组件包括设置于内壁的第一加热单元和第一测温单元。第二加热组件包括设置于金属薄膜压力感应单元的第二加热单元和第二测温单元。温度控制单元连接第一加热组件和第二加热组件，温度控制单元通过第一测温单元和第二测温单元控制第一加热单元和第二加热单元。第一加热单元和第二加热单元通过二级加热，能使电容式薄膜真空计的温度快速达到稳态，提高效率，提升检测精度。
主权项：1.一种电容式薄膜真空计，其特征在于，其包括：外壳，其包括内壁和由所述内壁围设形成的收容空间；金属薄膜压力感应单元，悬置于所述收容空间中；第一加热组件，其包括设置于所述内壁的第一加热单元和第一测温单元；第二加热组件，其包括设置于所述金属薄膜压力感应单元的第二加热单元和第二测温单元；温度控制单元，其连接所述第一加热组件和第二加热组件，所述温度控制单元通过所述第一测温单元和所述第二测温单元控制所述第一加热单元和第二加热单元。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州迅微纳半导体科技有限公司 一种电容式薄膜真空计
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