龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏微导纳米科技股份有限公司
摘要：本发明涉及镀膜技术设备领域，具体而言，涉及一种传送装置和镀膜设备。该传送装置包括承载件、非接触式支撑组件以及驱动组件；承载件用于承载基片；非接触式支撑组件用于以非接触式方式支撑承载件，并使其相对于竖直方向倾斜；驱动组件与承载件传动连接，驱动组件用于传送承载件。该传送装置能够在传动的过程中，避免基片出现倾倒，同时减小传动过程中的摩擦振动，从而提高传动的平稳性，由此，能够提高镀膜质以及提高膜层的均匀性。
主权项：1.一种传送装置，其特征在于：所述传送装置包括承载件、非接触式支撑组件以及驱动组件；所述承载件用于承载基片；所述非接触式支撑组件用于以非接触式方式支撑所述承载件，并使其相对于竖直方向倾斜；所述驱动组件与所述承载件传动连接，所述驱动组件用于传送所述承载件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏微导纳米科技股份有限公司 传送装置和镀膜设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号