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申请/专利权人：京东方科技集团股份有限公司;南京京东方显示技术有限公司;北京京东方技术开发有限公司
摘要：本申请提供一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板和显示装置，属于显示技术领域，包括：衬底；缓冲层，设置在衬底的一侧；有源层，设置在缓冲层背离衬底的一侧，有源层包括第一部分和第二部分；层间介质层，层间介质层上对应于第一部分和第二部分的位置分别开设有第一通孔和第二通孔；第三金属层，第三金属层至少通过第二通孔与有源层连接，且第三金属层沿第一方向延伸；其中，第二部分在衬底上的正投影包括多个边缘，多个边缘中的至少一个与第一方向垂直的边缘位于第二通孔在衬底上的正投影范围内。通过本申请提供的一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板和显示装置，可以减少出现源漏极的断线不良现象，提升产品良率。
主权项：1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底；缓冲层，设置在所述衬底的一侧；有源层，设置在所述缓冲层背离所述衬底的一侧，所述有源层包括第一部分和第二部分；层间介质层，设置在所述有源层背离所述衬底的一侧，所述层间介质层上对应于所述第一部分和所述第二部分的位置分别开设有第一通孔和第二通孔；第三金属层，设置在所述层间介质层背离所述衬底的一侧，所述第三金属层至少通过所述第二通孔与所述有源层连接，且所述第三金属层沿第一方向延伸；其中，所述第二部分在所述衬底上的正投影包括多个边缘，多个所述边缘中的至少一个与所述第一方向垂直的所述边缘位于所述第二通孔在所述衬底上的正投影范围内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 京东方科技集团股份有限公司 南京京东方显示技术有限公司 北京京东方技术开发有限公司 一种薄膜晶体管及其制备方法、显示面板和显示装置
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