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申请/专利权人：光合有限责任公司

摘要：本发明公开了一种用于在感光材料内部形成三维结构的光刻设备和方法，该设备和方法被配置为根据在感光材料内部的层中的预定图案激活光化学反应。平台保持感光材料体积。光源系统产生第一波长的激发光束和第二波长的损耗光束。光调制系统使用激发光束和损耗光束，形成一个或多个调制图像。光学系统将一个或多个调制图像聚焦在位于三维的感光材料体积内的焦平面上。聚焦的一个或多个调制图像在焦平面中生成包括一个或多个激发区域和一个或多个损耗区域的预定图案，选择性地激活局限于焦平面附近的感光材料的薄层的光化学反应。

主权项：1.一种光刻设备，用于在三维的感光材料体积内形成三维结构，所述光刻设备被配置为根据在所述三维的感光材料体积内的层中的预定图案激活光化学反应，所述光刻设备包括：平台，所述平台被布置为保持所述感光材料体积；光源系统，所述光源系统被布置为产生激发光束，其中所述激发光束包括第一波长的光，其中所述感光材料体积内的所述光化学反应通过吸收所述第一波长的光而被激活，并且所述光源系统还被布置为产生损耗光束，其中所述损耗光束包括第二波长的光，并且其中所述感光材料体积内的所述光化学反应通过吸收所述第二波长的光而失活；光调制系统，所述光调制系统被布置为：使用所述激发光束和所述损耗光束，来形成一个或多个调制图像；光学系统，所述光学系统被布置为将所述激发光束和所述损耗光束组合成组合光束，并且还被布置为：将所述组合光束的所述一个或多个调制图像聚焦在位于所述三维的感光材料体积内的焦平面上；其中，所述光学系统被布置为聚焦所述一个或多个调制图像以生成所述预定图案，使得在所述三维的感光材料体积内形成一个或多个激发区域和一个或多个损耗区域，从而所述焦平面与所述激发区域和损耗区域之间的横截面对应于所述预定图案，其中，每个激发区域包括所述第一波长的光，并且每个损耗区域包括所述第二波长的光，其中，在所述焦平面外的两侧，所述一个或多个激发区域和所述一个或多个损耗区域至少部分重叠，以界定所述感光材料内部以所述焦平面为中心的反应体积，所述反应体积由所述组合光束激活；并且其中，由所述光源系统和所述光调制系统通过控制所述焦平面外的所述一个或多个激发区域与所述一个或多个损耗区域的重叠量，来控制所获取的反应体积的横向和垂直分辨率。

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权利要求：

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