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申请/专利权人：上海硬石科技有限公司
摘要：本发明涉及一种用于辅助等离子体激发电路装置，属于放电等离子体技术领域，包括交流溅射镀膜电源U1、辅助起辉电源U3、等离子体负载U2、二极管D1、开关S1以及连接导线，等离子体负载U2由真空腔体、电极和工艺气体组成，真空腔体接保护地GND；通过交流溅射镀膜电源U1的电流检测器判断等离子体状态，通过开关S1和辅助起辉电源U3辅助交流溅射镀膜电源U1激发等离子体；实现了对等离子体激发的实时需求的快速响应，适应不同激发条件下对电源输出的不同要求。
主权项：1.一种用于辅助等离子体激发电路装置，其特征在于，所述装置由交流溅射镀膜电源U1、辅助起辉电源U3、等离子体负载U2、二极管D1、开关S1以及连接导线组成；其中，所述等离子体负载U2由真空腔体、电极和工艺气体组成，所述真空腔体接保护地GND。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海硬石科技有限公司 一种用于辅助等离子体激发电路装置
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