龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
摘要：射频RF源可用于生成电容耦合等离子体以在等离子体处理腔室中对基板执行基于等离子体的处理。控制器可以使RF源和开关元件将RF信号路由到底座中的电极，这些电极在处理腔室中生成等离子体，作为在蚀刻或沉积过程中对基板执行的配方的一部分。在工艺之间，控制器可以使相同的RF源生成第二RF信号，替代地，所述第二RF信号由开关元件路由到感应线圈以生成电感耦合等离子体，用于清洁工艺以去除等离子体处理腔室内部的薄膜沉积物。
主权项：1.一种系统，包括：等离子体处理腔室；射频RF源；以及控制器，所述控制器被配置为执行操作，包括：接收要在等离子体处理腔室中对基板执行等离子体处理的指示；使所述RF源生成第一RF信号，所述第一RF信号被配置为在对所述基板执行所述等离子体处理期间在所述等离子体处理腔室中生成电容耦合等离子体；接收要在所述等离子体处理腔室中执行清洁处理的指示；以及使所述RF源生成第二RF信号，所述第二RF信号被配置为在所述清洁处理期间在所述等离子体处理腔室中生成电感耦合等离子体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 用于基板处理腔室中的电感耦合和电容耦合等离子体的射频源
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号