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申请/专利权人：上海邦芯半导体科技有限公司
摘要：本申请提供一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置，应用于等离子体设备技术领域，电感耦合线圈具体包括中空的线圈绕组，在线圈绕组的内腔中沿着绕制路径上穿设一根由柔性的绝缘材料制成的冷却芯管，该冷却芯管的一端由线圈绕组的始段向外穿出线圈且另一端由所述线圈绕组的末段向外穿出线圈，以便于使该冷却芯管连接至外界的冷却液循环回路，其中所述电感耦合等离子体源包括底座、介电管以及上述的电感耦合线圈，所述等离子体处理装置包括反应腔室、安装在所述反应腔室内的晶片载置台以及上述电感耦合等离子体源，通过上述冷却芯管的设置，能够避免由冷却液引发的线圈接地，同时避免冷却液对线圈内腔造成腐蚀。
主权项：1.一种电感耦合线圈，包括中空的线圈绕组，其特征在于：在所述线圈绕组的内腔中沿着绕制路径上穿设一根由柔性的绝缘材料制成的冷却芯管，该冷却芯管的一端由线圈绕组的始段向外穿出线圈且另一端由所述线圈绕组的末段向外穿出线圈，以便于使该冷却芯管连接至外界的冷却液循环回路，所述冷却芯管被配置为可拆卸地组装在所述线圈绕组上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海邦芯半导体科技有限公司 一种电感耦合线圈、电感耦合等离子体源及等离子体处理装置
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