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申请/专利权人：中国科学院空天信息创新研究院
摘要：本公开提供了一种微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置，包括基台、圆柱谐振腔以及耦合组件。圆柱谐振腔适用于容纳由外部进入的反应气体；耦合组件安装于圆柱谐振腔的上方，耦合组件包括矩形波导、转换器以及环形天线，矩形波导适用于传输由外部微波源产生的电磁波；转换器适用于将电磁波的传播模式转换为横电磁波TEM模式；以及环形天线与转换器连接，环形天线适用于传输横电磁波TEM模式的电磁波至圆柱谐振腔内，以在圆柱谐振腔内形成TM021模式的电磁场；其中，反应气体在TM021模式的电磁场激励下激发出等离子体，以实现金刚石的沉积。
主权项：1.一种微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置，包括：基台；圆柱谐振腔，适用于容纳由外部进入的反应气体；以及耦合组件，安装于所述圆柱谐振腔的上方，所述耦合组件包括：矩形波导，适用于传输由外部微波源产生的电磁波；转换器，适用于将所述电磁波的传播模式转换为横电磁波TEM模式；以及环形天线，与所述转换器连接，所述环形天线适用于传输所述横电磁波TEM模式的电磁波至所述圆柱谐振腔内，以在所述圆柱谐振腔内形成所述TM021模式的电磁场；其中，所述反应气体在所述TM021模式的电磁场激励下激发出等离子体，以实现金刚石的沉积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院空天信息创新研究院 微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置
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