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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：在一实施方式中，公开了一种用于在能量储存装置中的锂金属的沉积和处理的整合处理工具。整合的处理工具可为卷材工具webtool。整合的处理工具可包括：卷对卷系统reel‑to‑reelsystem，该卷对卷系统用于经由下列的腔室来传送连续的材料片：用于将锂金属的薄膜沉积在连续的材料片上的腔室和用于将保护膜沉积在锂金属的薄膜的表面上的腔室。用于沉积锂金属的薄膜的腔室可包括：诸如电子束蒸发器的PVD系统、薄膜传送系统，或狭缝式沉积系统slot‑diedepositionsystem。用于将保护膜沉积在锂金属膜上的腔室可包括：沉积夹层膜的腔室或用于将锂离子传导性聚合物沉积在锂金属膜上的腔室。
主权项：1.一种负极，包括：阳极，所述阳极由石墨制成；锂金属膜，所述锂金属膜形成于所述阳极上；保护膜，所述保护膜形成于所述锂金属膜上；和界面膜，所述界面膜形成在所述锂金属膜与所述保护膜之间，其中所述保护膜是锂离子传导性材料或夹层膜，所述夹层膜包括热塑性塑料，并且其中当所述保护膜是所述夹层膜时，所述界面膜是包含有助于改善从所述锂金属膜移除所述保护膜的释放剂的离型膜，或者当所述保护膜是所述锂离子传导性材料时，所述界面膜是含锂的金属氟化物膜或金属氧化物膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 具有保护层工具的整合的锂沉积
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