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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：一种液体前体容器包括内容器、外容器和挡板构件。内容器具有内基部、从内基部延伸的内中间部以及通过内中间部联接到内基部的内盖部。外容器包围内容器并具有与内容器的内基部间隔开的外基部、从外基部延伸并围绕内容器的内中间部的外中间部以及通过外容器的外中间部联接到外基部的外盖部。挡板构件布置在内容器的内盖部和外容器的外盖部之间，以使液体冷却剂在内容器周围流通，从而冷却包含在内容器内的液体前体。还描述了具有液体前体容器的液体前体系统和半导体处理系统以及采用蒸发液体前体的材料层沉积方法。
主权项：1.一种液体前体容器，包括：内容器，其具有内基部、从内基部延伸的内中间部以及通过内中间部联接到内基部的内盖部；外容器，其包围内容器并具有与内容器的内基部间隔开的外基部、从外基部延伸并围绕内容器的内中间部的外中间部以及通过外中间部联接到外基部的外盖部；以及挡板构件，其布置在内容器的内盖部和外容器的外盖部之间，以使液体冷却剂在内容器周围流通，从而在液体前体蒸发期间冷却包含在内容器内的液体前体。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 液体前体容器及材料层沉积方法
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