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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：提供了一种液体前体容器。液体前体容器包括内容器、外容器和挡板构件。内容器具有内基部、从内基部向上延伸的内中间部以及通过内中间部联接到内基部的内盖部。外容器具有与内容器的内基部间隔开的外基部和从外基部向上延伸并围绕内容器的内中间部的外中间部。挡板构件布置在内容器的内中间部和外容器的外中间部之间，从外容器的外基部向上延伸，并终止于内容器的内盖部和内基部之间。还描述了液体前体系统、半导体处理系统和材料层沉积方法。
主权项：1.一种液体前体容器，包括：内容器，其具有内基部、从内基部向上延伸的内中间部以及通过内容器的内中间部联接到内基部的内盖部；具有外基部和外中间部的外容器，外基部与内容器的内基部间隔开，外中间部从外基部向上延伸并围绕内容器的内中间部；以及布置在外容器和内容器之间的挡板构件，挡板构件从外容器的外基部向上延伸，挡板构件终止于内容器的内基部和内盖部之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 液体前体容器及材料层沉积方法
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