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申请/专利权人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种PECVD沉积腔室，在沉积腔室本体的顶部内侧固定连接有固定座，固定座上连接有第一电极，沉积腔室本体的下部内侧设有第二电极，第二电极的下方设有升降组件，第二电极上连接有载具，通过第一固定勾件和第一活动勾件配合第一固定边上的第一卡槽将第一电极夹持固定在固定座的底面，在螺纹旋钮松开时即可将第一活动勾件移除，同时通过第二固定勾件和第二活动勾件配合载具上的第二卡槽将载具固定夹持在第二电极上，其中可以通过挤压第二活动勾件的底部，使得第二活动勾件偏转，方便将载具取下，同时第一活动勾件和第二活动勾件均设在沉积腔室本体的前侧，从而无需伸入沉积腔室本体即可进行固定安装和拆卸的操作。
主权项：1.一种PECVD沉积腔室，其特征在于，包括沉积腔室本体1，所述沉积腔室本体1为一侧开口结构，在开口侧设置用于在薄膜沉积时对开口进行密封的门体21，在沉积腔室本体1内相对设有第一电极3和第二电极4，所述第一电极3通过固定座2安装在沉积腔室本体1的顶部，第一电极3与固定座2之间通过第一卡接组件连接，第二电极4可升降的设置在沉积腔室本体1内，第二电极4在正对第一电极3的表面可拆卸设有用于放置基片的载具6，载具6与第二电极4之间通过第二卡接组件连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 一种PECVD沉积腔室
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