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申请/专利权人：新特能源股份有限公司
摘要：本发明公开了一种分离多晶硅还原尾气中氢气的系统和方法，该系统包括：换热器，多晶硅还原尾气经过降温后形成的气液混合物通入到换热器物料腔内降温；重力分离器，其入口与换热器物料腔出口连接，其第一出口用于排出第一气相物料，其第二出口用于排出第一液相物料；氯化氢分离膜组件，其入口与重力分离器第一出口连接，用于将第一气相物料中的包含氯化氢的第二气相物料与其余第三气相物料分离开；氢气分离膜组件，其入口与氯化氢分离膜组件第一出口连接，用于将第三气相物料中的高纯氢气与第三杂质分离开。本发明原料处理效率高、产品质量优、设备自动化率高、操作方便、运行能耗低、环境友好、可再生性好、重力分离器与双膜组件匹配度高。
主权项：1.一种分离多晶硅还原尾气中氢气的系统，其特征在于，包括：换热器1，多晶硅还原尾气经过降温后形成的气液混合物通入到换热器物料腔内，通过通入到换热器1的第一冷源介质对多晶硅还原尾气经过降温后形成的气液混合物降温；重力分离器2，包括：重力分离器腔体、设置于重力分离器腔体上的重力分离器入口21、重力分离器第一出口22、重力分离器第二出口23，重力分离器入口21与换热器物料腔出口连接，重力分离器第一出口22用于排出第一气相物料，重力分离器第二出口23用于排出第一液相物料；氯化氢分离膜组件3，氯化氢分离膜组件入口31与重力分离器第一出口22连接，氯化氢分离膜组件3用于将第一气相物料中的包含氯化氢的第二气相物料与其余第三气相物料分离开，第三气相物料由氯化氢分离膜组件第一出口32排出，第二气相物料由氯化氢分离膜组件第二出口33排出；氢气分离膜组件4，氢气分离膜组件入口41与氯化氢分离膜组件第一出口32连接，氢气分离膜组件4用于将第三气相物料中的高纯氢气与第三杂质分离开，高纯氢气由氢气分离膜组件第一出口42排出，第三杂质由氢气分离膜组件第二出口43排出。
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权利要求：
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