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申请/专利权人：天合光能股份有限公司
摘要：本申请提供了一种太阳能电池的制备方法和太阳能电池，该太阳能电池的制备方法包括：提供硅衬底；在硅衬底的正面和或背面上依次形成隧穿层和掺杂多晶硅层，掺杂多晶硅层包括相邻的金属接触区和非金属接触区；在掺杂多晶硅层远离硅衬底的一面上形成掩膜，掩膜覆盖金属接触区并暴露出非金属接触区；使用激光轰击非金属接触区；使用碱性溶液刻蚀经激光轰击后的非金属接触区；在金属接触区形成电极，电极与掺杂多晶硅层电连接。本申请的制备方法使用激光轰击非金属接触区，提高了非金属接触区的表面粗糙度，同时在非金属接触区上形成氧化硅层，有利于提高非金属接触区的厚度均匀性。
主权项：1.一种太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括：提供硅衬底；在所述硅衬底的正面和或背面上依次形成隧穿层和掺杂多晶硅层，所述掺杂多晶硅层包括相邻的金属接触区和非金属接触区；在所述掺杂多晶硅层远离所述硅衬底的一面上形成掩膜，所述掩膜覆盖所述金属接触区并暴露出所述非金属接触区；使用激光轰击所述非金属接触区；使用碱性溶液刻蚀经激光轰击后的非金属接触区；以及在所述金属接触区形成电极，所述电极与所述掺杂多晶硅层电连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 太阳能电池的制备方法和太阳能电池
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