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申请/专利权人:精工爱普生株式会社
摘要:本发明提供一种提高压电元件的特性的压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置。压电元件为,在基板上依次层叠有第一电极、种子层、压电体层和第二电极的压电元件,种子层由作为结构元素而包含铅、铁以及钛的复合氧化物构成。
主权项:1.一种压电元件,其为在基板上依次层叠有第一电极、种子层、压电体层和第二电极的压电元件,其特征在于,所述种子层由作为结构元素而包含铅、铁以及钛的复合氧化物构成,所述压电体层由具有钙钛矿结构的复合氧化物构成,所述钙钛矿结构作为结构元素而包含铅、锆以及钛,所述种子层的所述复合氧化物具有钙钛矿结构。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 精工爱普生株式会社 压电元件、液体喷出头以及液体喷出装置
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