龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：凯斯科技股份有限公司
摘要：本发明涉及一种用于溶解抛光粒子的组合物及使用其的清洁方法，更具体地，涉及一种用于溶解抛光粒子的组合物及使用其的清洁方法，所述用于溶解抛光粒子的组合物包括：含硫有机酸；含氟离子化合物；以及溶剂，其中，在60℃温度下测量15分钟的浊度变化降低率为‑80％至‑99％。
主权项：1.一种用于溶解抛光粒子的组合物，其特征在于，包括：含硫有机酸；含氟离子化合物；以及溶剂，还包括含硫化合物，所述含硫有机酸包括从由甲基磺酸、对甲苯磺酸、5-磺基水杨酸、聚苯乙烯磺酸、乙基磺酸以及苯磺酸组成的群组中选择的至少一种以上，所述含氟离子化合物是氟化铵，所述含硫化合物是氨基磺酸，所述含硫有机酸占所述用于溶解抛光粒子的组合物的1重量％至10重量％，所述含硫化合物占所述用于溶解抛光粒子的组合物的5重量％至15重量％，所述含氟离子化合物占所述用于溶解抛光粒子的组合物的2重量％至10重量％，所述含硫有机酸与含氟离子化合物的质量比为1:1至1:15，所述含硫化合物与含硫有机酸的质量比为2:1至5:1，其中，在60℃温度下测量15分钟的浊度变化降低率为-80％至-99％，所述用于溶解抛光粒子的组合物在使用含有抛光粒子的用于化学机械抛光的浆料来进行抛光后，溶解残留的抛光粒子。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 凯斯科技股份有限公司 用于溶解抛光粒子的组合物及使用其的清洁方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号