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申请/专利权人:阅美测量系统(中国)有限公司
摘要:本发明涉及一种实时粒子监测器及监测方法,包括壳体、主机、光学显微镜、光源及粒子捕集载物片;壳体的截面呈直角梯形,在壳体的内部安装有光源,在壳体的斜面上固定有光学显微镜,光学显微镜为带有千万像素高精度摄像机的光学显微镜;光学显微镜和光源连接;光源为带两种角度交叉偏光片的光源;在壳体的底部固定有粒子捕集载物片,粒子捕集载物片位于光学显微镜的镜头的正前方和光学显微镜的镜面平行;在壳体的侧面固定连接有主机,光学显微镜和光源均和主机连接。优点在于:相比传统的检测器本发明可以识别金属粒子;可以捕集得到超差粒子样本,进行进一步分析;通过落尘捕集载物片捕集到的粒子样本可以做重复性再现性测试。
主权项:1.一种实时粒子监测器,其特征在于,包括壳体1、主机2、光学显微镜3、光源4及粒子捕集载物片5;所述壳体1的截面呈直角梯形,在所述壳体1的内部安装有所述光源4,在所述壳体1的斜面上固定有所述光学显微镜3,所述光学显微镜3为带有千万像素高精度摄像机的光学显微镜;所述光学显微镜3和所述光源4连接;所述光源4为带两种角度交叉偏光片的光源;在所述壳体1的底部固定有所述粒子捕集载物片5,所述粒子捕集载物片5位于所述光学显微镜3的镜头的正前方和所述光学显微镜3的镜面平行;在所述壳体1的侧面固定连接有所述主机2,所述光学显微镜3和所述光源4均和所述主机2连接。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 阅美测量系统(中国)有限公司 一种实时粒子监测器及监测方法
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