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申请/专利权人：迈为技术(珠海)有限公司

摘要：本发明公开一种运动平台及加工设备，其中，运动平台包括设有导轨的基座、第一支架、第一球铰气浮组件、第二球铰气浮组件、第一活塞气浮组件、第二活塞气浮组件、第二支架、第一驱动机构、第二驱动机构、第三驱动机构、载台。第一球铰气浮组件包括第一气浮块，第一活塞气浮组件包括第二气浮块，第二球铰气浮组件包括第三气浮块，第二活塞气浮组件包括第四气浮块，第一驱动机构与第一支架和或第二支架传动连接，载台滑设于第一支架和第二支架，第一气浮块和第三气浮块设置于导轨的一侧，第二气浮块和第四气浮块设置于导轨的另一侧。本发明的运动平台及加工设备可以提高载台运动精度，提高了半导体的加工精度和质量。

主权项：1.一种运动平台，其特征在于，包括：基座11，设有导轨111；第一支架12；第一球铰气浮组件14，包括安装于所述第一支架12的第一气浮块141；第一活塞气浮组件15，包括安装于所述第一支架12的第二气浮块151；第二支架13；第二球铰气浮组件16，包括安装于所述第二支架13的第三气浮块；第二活塞气浮组件17，包括安装于所述第二支架13的第四气浮块；第一驱动机构18，与所述第一支架12和或所述第二支架13传动连接；载台21，滑设于所述第一支架12和所述第二支架13；第二驱动机构19，连接所述第一支架12和所述载台21；以及第三驱动机构20，连接所述第二支架13和所述载台21；所述第一气浮块141和所述第三气浮块均可相对所述第一支架12转动地设置于所述导轨111的一侧，所述第二气浮块151和所述第四气浮块均可相对所述第一支架12转动且滑动地设置于所述导轨111的另一侧；所述载台21具有沿第二直线方向滑设于所述第一支架12的第一滑动部2110和沿第三直线方向滑设于所述第二支架13的第二滑动部2111；所述第一支架12设有第一滑块22且所述载台21的所述第一滑动部2110设有第一滑轨23或所述第一支架12设有第一滑轨23且所述载台21的所述第一滑动部2110设有第一滑块22，所述载台21的所述第一滑动部2110通过所述第一滑轨23与所述第一滑块22的配合滑设于所述第一支架12；所述第二支架13设有第二滑块24且所述载台21的所述第二滑动部2111设有第二滑轨25或所述第二支架13设有第二滑轨25且所述载台21的所述第二滑动部2111设有第二滑块24，所述载台21的所述第二滑动部2111通过所述第二滑轨25与所述第二滑块24的配合滑设于所述第二支架13。

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