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光电器件 

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申请/专利权人:康普泰克解决方案公司

摘要:本发明涉及一种光电子器件100、200、250、260、300,其包括具有第一表面平面112、212、105和与第一个表面平面相对并平行的第二平面214的衬底层110,210,310,107。该器件还包括布置在衬底层第一表面平面上的台面结构120、220、320、820、103、123、133。台面结构包括至少一层III‑V族半导体材料;第一表面101、131与基底层第一表面平面呈夹角α,其中夹角α在0°和180°之间。该器件还包括布置在台面结构第一表面上的第一类型的第一终止氧化物层130、230、330,并且在布置第一类型第一终止氧化物层之前,台面结构的第一表面已经被清洁,且除去了第一表面上的至少75%的天然氧化物。

主权项:1.一种光电器件100、200、250、260、300,包括-衬底层110、210、310、107具有第一表面平面112、212、105和与第一表面平面相对并平行的第二表面平面214;-布置在衬底层的第一表面平面上的台面结构120、220、320、820、103、123、133,该台面结构包括-至少一层III-V族材料;和-相对于基底层的第一表面平面以角度α布置的第一表面101、131,其中角度α在0°和180°之间;-布置在台面结构第一表面上的第一类型的第一终止氧化物层130、230、330,其中在通过氧化形成第一类型的第一终止氧化物层之前,台面结构的第一表面已经被清洁,且除去了第一表面上至少75%的天然氧化物,其中第一终止氧化物层的结构是有序的,使得第一终止氧化层的表面具有长程有序。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 康普泰克解决方案公司 光电器件

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