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摘要：本发明提供一种刻蚀终点检测方法及装置，该刻蚀终点检测方法包括：根据刻蚀脉冲信号的上升沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定正向光谱积分数据；根据刻蚀脉冲信号的下降沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定负向光谱积分数据；根据正向光谱积分数据和负向光谱积分数据确定目标光谱信号数据；根据目标光谱信号数据检测刻蚀终点。本发明可以有效过滤等离子体脉冲刻蚀中的背景噪声，实现高精度的脉冲刻蚀终点检测及控制。
主权项：1.一种刻蚀终点检测方法，其特征在于，包括：根据刻蚀脉冲信号的上升沿、光谱仪积分时间和光谱仪信号确定正向光谱积分数据；刻蚀脉冲信号的上升沿触发光谱仪采集等离子体刻蚀过程中的光谱数据；根据光谱仪最小积分时间、刻蚀脉冲正向周期和刻蚀脉冲负向周期确定所述光谱仪积分时间；若设置刻蚀脉冲周期远小于光谱仪最小积分时间，则光谱仪采样周期跨越数个刻蚀脉冲周期；若设置脉冲周期比拟光谱仪最小积分或远大于最小积分时间，则光谱仪采集的正负积分时间不大于脉冲周期的高功率时间与低功率时间的最小值；根据刻蚀脉冲信号的下降沿、所述光谱仪积分时间和所述光谱仪信号确定负向光谱积分数据；刻蚀脉冲信号的下降沿触发光谱仪采集背景噪声中的光谱数据；根据所述正向光谱积分数据和所述负向光谱积分数据确定目标光谱信号数据；根据所述目标光谱信号数据检测刻蚀终点。
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百度查询： 北京航空航天大学 刻蚀终点检测方法及装置
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