龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏亚电科技股份有限公司
摘要：本申请涉及一种晶圆提升干燥方法，晶圆先在第一位置进行第一预设时间的干燥，再在提升一定高度的第二位置进行第二预设时间的干燥，由于晶圆在第一位置和第二位置时，晶圆与晶圆升降机构的接触位置、晶圆与旋转支撑块的接触位置不同，因此，能够起到更好地干燥效果。
主权项：1.一种晶圆提升干燥方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：由机械手将晶圆置入槽体内；S2：通过晶圆升降机构将晶圆抬升到槽体上方的盖体内，晶圆处于第一位置时，干燥第一预设时间；S3：盖体内的支撑块旋转使晶圆脱离晶圆升降机构，将晶圆顶起到第二位置，干燥第二预设时间；S4：干燥结束后将晶圆支撑块旋转将晶圆放回到晶圆升降机构上，再由抬升机构将晶圆下降到槽体内，由机械手将晶圆运输走；所述盖体包括侧板和顶盖，两侧的所述侧板的内壁具有支撑块和定位块，支撑块由驱动件驱动而具有放行状态和固定状态，支撑块处于放行状态时，所述支撑块和定位块上的晶圆限位槽共线，此时，晶圆升降机构能够驱动晶圆抬升，依次经过支撑块和定位块上的晶圆限位槽，最终晶圆在晶圆升降机构支撑下停留在第一位置处；支撑块处于固定状态时，两侧的支撑块相互靠近从而与晶圆底部接触支撑住晶圆，晶圆脱离晶圆升降机构，并被固定在第二位置处；所述支撑块下方设置有导向块，所述导向块、所述支撑块和定位块上的晶圆限位槽共线，晶圆升降机构将晶圆抬升过程中，先通过导向块，再通过支撑块，最终晶圆的中部到达定位块处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏亚电科技股份有限公司 一种晶圆提升干燥方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号