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一种具有稳恒预紧力的线性压电纳米步进器 

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申请/专利权人:中国计量大学

摘要:本发明提供了一种具有稳恒预紧力的线性压电纳米步进器,包括第一内滑块、第二内滑块、第一压电体、第二压电体、外框、弹簧体、滑杆、辅助预紧弹簧,所述外框为一中空的封闭或半封闭的框架结构,所述第一内滑块和第二内滑块沿滑杆方向置于外框内部,并且第一内滑块和第二内滑块与外框内壁之间均设有一个压电体,第一内滑块和第二内滑块之间设有弹簧体,所述第一内滑块、第二内滑块、第一压电体、第二压电体和外框在沿滑杆方向处于稳恒预紧力的作用下,所述滑杆与外框、第一内滑块、第二内滑块之间均设置有辅助预紧弹簧。本发明的优点是:该纳米步进器兼有纳米级分辨、步长均匀、速度恒定等优点,并且步进速度与驱动信号有良好的线性关系。

主权项:1.一种具有稳恒预紧力的线性压电纳米步进器,其特征在于,包括第一内滑块、第二内滑块、第一压电体、第二压电体、外框、弹簧体、滑杆、辅助预紧弹簧,所述的外框为一中空的封闭或半封闭的框架结构,所述的第一内滑块和第二内滑块沿滑杆方向置于外框内部,并且第一内滑块和第二内滑块分别与外框前、后内壁之间设有第一压电体和第二压电体,第一内滑块和第二内滑块之间设有弹簧体,所述第一内滑块、第二内滑块、第一压电体、第二压电体和外框在沿滑杆方向处于稳恒预紧力的作用下,并且该预紧力来源于弹簧体的预紧形变,所述滑杆与外框、第一内滑块和第二内滑块之间均设置有辅助预紧弹簧;所述第一内滑块、第二内滑块、第一压电体、第二压电体和弹簧体的总长度被外框限定为一恒定值,并且第一压电体伸长或缩短一定长度时,第二压电体或弹簧体缩短或伸长相同的长度;所述弹簧体产生的预紧力大于第一内滑块或第二内滑块或外框与滑杆的摩擦力以及马达自身重力和负载重力之和;所述弹簧体的预紧形变量远远大于第一压电体或第二压电体的最大形变量。

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权利要求:

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