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摘要：提出一种转速传感器，该转速传感器具有衬底和至少一个质量振动器，该衬底具有主延伸平面，其中，该质量振动器经由一个或者多个弹簧元件与驱动结构连接并且能够被激励用于在平行于主延伸平面延伸的激励方向上振动，其中，该转速传感器具有至少一个探测元件以及第一锚固元件和第二锚固元件，该探测元件与质量振动器连接，所述第一锚固元件和第二锚固元件与衬底牢固地连接，其中，该探测元件经由第一弹簧元件与第一锚固元件连接并且经由第二弹簧元件与第二锚固元件连接，其中，该探测元件能够沿着平行于主延伸平面延伸且垂直于激励方向的探测方向偏转，其中，所述第一弹簧元件和第二弹簧元件包括平行四边形弹簧元件。
主权项：1.一种转速传感器1，所述转速传感器具有衬底和至少一个质量振动器，所述衬底具有主延伸平面，其中，所述质量振动器经由一个或者多个弹簧元件3与驱动结构连接并且能够被激励用于在平行于所述主延伸平面延伸的激励方向4上振动，其中，所述转速传感器1具有至少一个探测元件2以及第一锚固元件和第二锚固元件6、7，所述探测元件与所述质量振动器连接，所述第一锚固元件和第二锚固元件与所述衬底牢固地连接，其中，所述探测元件2经由第一弹簧元件8与所述第一锚固元件6连接并且经由第二弹簧元件9与所述第二锚固元件7连接，其中，所述探测元件2能够沿着平行于所述主延伸平面延伸且垂直于所述激励方向4的探测方向5偏转，其特征在于，所述第一弹簧元件和第二弹簧元件8、9包括平行四边形弹簧元件。
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百度查询： 罗伯特·博世有限公司 具有衬底和至少一个质量振动器的转速传感器
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