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摘要：本发明提供一种圆膜式无线无源加速度传感器，包括从下至上依次连接的圆膜结构、质量块、天线，连接在圆膜结构、质量块之间的信号转接板，声表面波谐振器，将信号转接板，声表面波谐振器连通的金属引线，将信号转接板与天线连通的射频线缆，和连接在圆膜结构、质量块、天线外部的天线罩。本发明采用圆膜作为形变结构，取代了常用悬臂梁式结构中压电基片的形变结构，可有效避免悬臂梁式结构的工艺一致性差、稳定性差、易损坏和易受轴向应变影响等问题；同时在质量块顶端设置有天线，可实现无线无源测量，具有整体结构简单、集成度高等特点。
主权项：1.一种圆膜式无线无源加速度传感器，其特征在于：包括从下至上依次连接的圆膜结构1、质量块2、天线3，连接在所述圆膜结构1、所述质量块2之间的信号转接板4，声表面波谐振器5，将所述信号转接板4，声表面波谐振器5连通的金属引线6，将所述信号转接板4与所述天线3连通的射频线缆7，和连接在所述圆膜结构1、所述质量块2、所述天线3外部的天线罩8；所述圆膜结构1包括依次连接的底座11、中心支柱12和圆膜13，所述底座11为平板结构，所述中心支柱12垂直连接在所述底座11和所述圆膜13之间并与所述圆膜13共轴，所述圆膜13包括与所述中心支柱12垂直连接的圆膜底面131和连接在所述圆膜底面131外周的圆环结构132，所述圆膜底面131为随加速度变动部位，所述质量块2的底部外侧台阶嵌入所述圆环结构132中；所述信号转接板4连接在所述圆膜底面131的中心处且位于所述中心支柱12上部，所述声表面波谐振器5连接在所述圆膜底面131上且位于所述信号转接板4一侧；当传感器受到加速度作用时，所述圆膜底面131的应力应变变化将传递至所述声表面波谐振器5上并引起所述声表面波谐振器5谐振频率变化以进行加速度测量。
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权利要求：
百度查询： 航天长征火箭技术有限公司 一种圆膜式无线无源加速度传感器
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