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摘要：本发明公开了一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片及石英谐振加速度计，涉及谐振加速计技术领域，该芯片包括石英基底和石英谐振器，石英谐振器包括依次连接的上隔离盘、音叉振梁和下隔离盘；上隔离盘上由外向内依次开设有第一上隔离槽、第二上隔离槽和第三上隔离槽，下隔离盘上由外向内依次开设有第一下隔离槽、第二下隔离槽和第三下隔离槽；第一上隔离槽和第一下隔离槽、第二上隔离槽和第二下隔离槽以及第三上隔离槽和第三下隔离槽构成三级应力隔离结构。本发明采用全石英结构，降低了因异质材料热膨胀系数不同所引入的热应力干扰；依靠高效的三级隔离槽隔离外部可能影响谐振器应力分布的干扰。

主权项：1.一种应力自隔离的石英谐振加速度计芯片，其特征在于，包括石英基底和石英谐振器；所述石英谐振器包括依次连接的上隔离盘14、音叉振梁15和下隔离盘16，所述上隔离盘14和下隔离盘16相互远离的一端端部与石英基底一侧粘贴；所述上隔离盘14上由外向内依次开设有第一上隔离槽14a、第二上隔离槽14b和第三上隔离槽14c，所述下隔离盘16上由外向内依次开设有第一下隔离槽16a、第二下隔离槽16b和第三下隔离槽16c；所述第一上隔离槽14a与第一下隔离槽16a、第二上隔离槽14b与第二下隔离槽16b、第三上隔离槽14c与第三下隔离槽16c分别关于音叉振梁15对称设置；所述第一上隔离槽14a和第一下隔离槽16a、第二上隔离槽14b和第二下隔离槽16b以及第三上隔离槽14c和第三下隔离槽16c构成三级应力隔离结构；所述石英基底包括固定框1，其一端为直角固定边10，另一端为开口朝内的圆弧活动边11；所述圆弧活动边11中部与外隔离框3一端外侧连接，所述外隔离框3另一端内侧与内隔离框29的一侧连接；所述内隔离框29另一侧两端通过两个放大杠杆5连接有敏感质量块6，另一侧中部开设有下隔离槽9；所述敏感质量块6上刻蚀有沿芯片中心轴线对称的振梁槽7和上隔离槽8，所述振梁槽7两端分别与上隔离槽8和下隔离槽9连通；所述上隔离盘14和下隔离盘16相互远离的一端端部均设有溢胶槽阵列18，两个所述溢胶槽阵列18分别粘贴在敏感质量块6和内隔离框29上；所述上隔离盘14、音叉振梁15和下隔离盘16分别悬空于上隔离槽8、振梁槽7和下隔离槽9上方；两个所述溢胶槽阵列18包括上溢胶槽阵列18a和下溢胶槽阵列18b，所述上溢胶槽阵列18a粘贴在敏感质量块6上，所述下溢胶槽阵列18b粘贴在内隔离框29上。

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