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摘要：本发明涉及太阳能电池制造技术领域，具体公开一种硼扩散石英舟的清洗方法。本发明采用低浓度酸溶液对石英舟进行浸泡，不会腐蚀石英舟，从而不会影响石英舟的使用寿命；且低浓度酸更易漂洗，不会在石英舟表面造成酸残留，从而避免残留酸导致石英舟批量舟齿印不良问题的出现；再者，本发明采用氨水和双氧水的混合溶液有效去除了石英舟表面的硅粉残留和有机物残留，并配合二流体喷雾对石英舟卡槽内不易去除的脏污和颗粒进行去除，最终实现了石英舟无死角去除残留物的目的，有利于提升硼扩散电池片的效率和产品合格率，且整个清洗工艺简单，清洗时间短，是一种高效绿色环保的石英舟清洗方法，适合工业化生产应用，具有广阔的应用前景。
主权项：1.一种硼扩散石英舟的清洗方法，其特征在于，所述清洗方法包括以下步骤：S1，将待清洗的石英舟放入低浓度混合酸液进行酸洗，酸洗结束后，将石英舟进行鼓泡溢流水洗，得到石英舟Ι；所述混合酸液为HF和HCl的混合溶液；S2，将所述石英舟Ι放入氨水和双氧水的混合溶液中，升温，超声浸泡，然后将石英舟进行鼓泡溢流水洗，得石英舟Ⅱ；S3，采用二流体喷雾对所述石英舟Ⅱ的卡槽进行喷吹清洗，得石英舟Ⅲ；S4，将所述石英舟Ⅲ置于洁净密闭的烘干装置中，通入热氮气进行烘干，得洁净石英舟。
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