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摘要:本发明公开了一种基于电容检测的低噪声MEMS加速度计读出电路,其特征在于:包括CV转换电路、信号放大电路和LPFADC模块,所述MEMS加速度计与CV转换电路连接,所述CV转换电路通过信号放大电路与LPFADC模块连接,消除电容微传感器的输出偏置,提高传感器的精度和稳定性。
主权项:1.一种基于电容检测的低噪声MEMS加速度计读出电路,其特征在于:包括CV转换电路、信号放大电路和LPFADC模块,所述MEMS加速度计与CV转换电路连接,所述CV转换电路通过信号放大电路与LPFADC模块连接。
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百度查询: 郑州中科集成电路与系统应用研究院 一种基于电容检测的低噪声MEMS加速度计读出电路
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