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摘要：公开了一种MEMS麦克风模组和电子设备。该MEMS麦克风模组包括：MEMS麦克风芯片；麦克风ASIC单元；以及封装壳体，包括基板和金属帽，其中，麦克风ASIC单元包括:接收由MEMS麦克风芯片向麦克风ASIC单元输出的麦克风信号Vin的Vin端口；以及Vg端口，用于输出与Vin端口所输入的交流麦克风信号Vin等电位的Vg信号，其中，MEMS麦克风芯片包括：MEMS衬底；设置在MEMS衬底上的振膜；间隔件；通过间隔件与振膜间隔开的背极板，包括背电极；与所述Vin端口连接并输出所述麦克风信号Vin的Vin焊盘；接收来自于Vg端口的Vg信号的Vg焊盘；以及设置在Vin焊盘和MEMS衬底之间的屏蔽电极，其中，所述Vg焊盘电连接到所述屏蔽电极和所述金属帽。
主权项：1.一种MEMS麦克风模组，包括：MEMS麦克风芯片；麦克风ASIC单元；以及封装壳体，包括基板和金属帽，其中，MEMS麦克风芯片和麦克风ASIC单元位于由基板和金属帽形成的壳体中，其中，麦克风ASIC单元包括:接收由MEMS麦克风芯片向麦克风ASIC单元输出的麦克风信号Vin的Vin端口；以及Vg端口，用于输出与Vin端口所输入的交流麦克风信号Vin等电位的Vg信号，其中，MEMS麦克风芯片包括：MEMS衬底；设置在MEMS衬底上的振膜；间隔件；通过间隔件与振膜间隔开的背极板，包括背电极；与所述Vin端口连接并输出所述麦克风信号Vin的Vin焊盘；接收来自于Vg端口的Vg信号的Vg焊盘；以及设置在Vin焊盘和MEMS衬底之间的屏蔽电极，其中，所述Vg焊盘电连接到所述屏蔽电极和所述金属帽。
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百度查询： 潍坊歌尔微电子有限公司 MEMS麦克风模组和电子设备
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