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摘要：本发明提供了一种MEMS交叉线、微波器件及制备方法，属于无线通信技术领域，包括第一传输线结构、第二传输线结构和MEMS桥；第二传输线结构与第一传输线结构通过互连层相连实现接地，第二传输线结构的信号传输方向与第一传输线结构的信号传输方向交叉设置；MEMS桥设置于第一传输线结构和第二传输线结构之间，用于第一传输线结构和第二传输线结构之间的信号隔离。本发明提供的MEMS交叉线，由于MEMS桥不参与信号传输，仅仅具有隔离功能，能够有效降低MEMS桥的制作成本，进而降低器件的制作成本，提高不同信号之间的隔离度，避免不同信号之间的干扰，从而提高信号传输的精度。

主权项：1.MEMS交叉线，其特征在于，包括：第一传输线结构；第二传输线结构，与所述第一传输线结构通过互连层相连实现接地，所述第二传输线结构的信号传输方向与所述第一传输线结构的信号传输方向交叉设置；MEMS桥，设置于所述第一传输线结构和所述第二传输线结构之间，用于所述第一传输线结构和所述第二传输线结构之间的信号隔离；所述第一传输线结构包括：第一屏蔽层；第一转接板，背面设有第一开放腔体，正面设有所述第一屏蔽层，所述第一转接板上设有第一接地孔；第一传输层，包括第一信号线和分设于所述第一信号线两侧的第一接地线，所述第一信号线穿过所述第一开放腔体，所述第一接地线在所述第一开放腔体的外面，所述第一屏蔽层与所述第一接地线通过所述第一接地孔互连接地；所述第二传输线结构与所述第一传输线结构相同，所述第二传输线结构包括第二屏蔽层、第二转接板和第二传输层，所述第二屏蔽层设置在所述第二转接板的背面，所述第二转接板的正面设有第二开放腔体，所述第二传输层的第二信号线穿过所述第二开放腔体，所述第二屏蔽层和所述第二传输层的第二接地线通过设置在所述第二转接板上的第二接地孔互连接地；所述第一信号线与所述第二信号线交叉设置，所述第一接地线和所述第二接地线通过所述互连层实现互连接地，所述MEMS桥设置在所述第一传输层和所述第二传输层之间；所述MEMS桥包括：交叉式支架，与所述第二接地线相连；隔离板，设置在所述交叉式支架的中间，所述隔离板依靠所述交叉式支架支撑在所述第一开放腔体和所述第二开放腔体之间，所述隔离板上设有释放孔；所述互连层包括多个BGA焊球。

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百度查询： 中国电子科技集团公司第五十四研究所 MEMS交叉线、微波器件及制备方法