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摘要：本发明提供一种用于封闭MEMS元件中的进口部的方法，该方法包括下述步骤：‑提供具有功能区域的功能层，‑借助于在功能层的功能区域之外的第一进口部在功能层的功能区域的下方制造空腔，‑封闭第一进口部，‑在功能层的功能区域之外制造通向空腔的第二进口部，‑熔化在第二进口部的区域中的封闭材料，和‑冷却已熔化的封闭材料，用以封闭第二进口部。
主权项：1.用于封闭MEMS元件1中的进口部的方法，所述方法包括下述步骤：-提供S1具有功能区域2的功能层16，-借助于在所述功能层16的所述功能区域2之外的第一进口部5、9、11在所述功能层16的所述功能区域2的下方制造S2空腔4，其中，所述第一进口部5、9、11制造有至少部分地环绕所述空腔4的沟槽5，使得所述第一进口部5、9、11布置在所述空腔4的多个侧处，-在制造所述空腔4之后封闭S3所述第一进口部5、9、11，-在封闭所述第一进口部5、9、11之后，在所述功能层16的所述功能区域2之外制造通向所述空腔4的第二进口部6、7、8，其中，所述第二进口部6、7、8在横向上位于所述空腔4的单个位置处，而并非环绕所述空腔4延伸，使得所述第二进口部6、7、8在横向上完全位于所述空腔4的单个侧处，-熔化S5在所述第二进口部6、7、8的区域中的封闭材料10、16，和-冷却S6已熔化的封闭材料10、16，用以封闭所述第二进口部6、7、8。
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百度查询： 罗伯特·博世有限公司 用于封闭MEMS元件中的进口部的方法
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