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摘要：本发明公开了一种气体介质驱动MEMS陀螺仪，包括陀螺仪本体和设于陀螺仪本体的内腔中的质量块，所述陀螺仪本体中位于质量块的Y轴方向设有一对检测电容极板，所述质量块布置于一对检测电容极板之间，所述陀螺仪本体中位于质量块的X轴方向设有振动幅度检测极板和驱动声源，所述质量块布置于振动幅度检测极板和驱动声源之间，所述驱动声源和质量块之间间隙布置且间隙中填充有气体介质以用于传递驱动声源的声音来驱动质量块。本发明旨在解决统静电驱动的MEMS陀螺仪质量块和驱动电极需要很小的间距才能满足驱动力要求导致加工难度大、需要在抽真空封装且难以保持性能指标，以及存在驱动与检测的电耦合现象导致性能不足、控制难度大的问题。
主权项：1.一种气体介质驱动MEMS陀螺仪，包括陀螺仪本体和设于陀螺仪本体的内腔中的质量块（1），所述陀螺仪本体中位于质量块（1）的Y轴方向设有一对检测电容极板（2），所述质量块（1）布置于一对检测电容极板（2）之间，其特征在于，所述陀螺仪本体中位于质量块（1）的X轴方向设有振动幅度检测极板（3）和驱动声源（4），所述质量块（1）布置于振动幅度检测极板（3）和驱动声源（4）之间，所述驱动声源（4）和质量块（1）之间间隙布置且间隙中填充有气体介质（5）以用于传递驱动声源（4）的声音来驱动质量块（1）。
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百度查询： 湖南天羿领航科技有限公司 一种气体介质驱动MEMS陀螺仪
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