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摘要:本发明公开了一种加速度传感器及其信号检测方法。该加速度传感器包括:框型基座、质量单元、以及连接所述框型基座和所述质量单元的至少两条悬臂梁;其中,所述至少两条悬臂梁分别位于所述加速度传感器的不同位置;且所述悬臂梁包括第一检测单元和第二检测单元,所述第一检测单元连接所述框型基座,所述第二检测单元连接所述质量单元。本发明增大了悬臂梁产生的信号强度,从而降低了增益,提升了加速度传感器的测量精度。
主权项:1.一种加速度传感器,其特征在于,包括:框型基座、质量单元、以及连接所述框型基座和所述质量单元的至少两条悬臂梁;其中,所述至少两条悬臂梁分别位于所述加速度传感器的不同位置;且所述悬臂梁包括第一检测单元和第二检测单元,所述第一检测单元连接所述框型基座,所述第二检测单元连接所述质量单元。
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百度查询: 松山湖材料实验室 加速度传感器及其信号检测方法
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