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摘要：本发明提供了一种可动态监测紫外光源的氧化镓光电探测器及其制备方法。可动态监测紫外光源的氧化镓光电探测器，它包括：石英立方体、石英棒、氧化镓薄膜、金电极。石英立方体边长1cm，具有3×3开圆孔结构，孔的间距为0.25cm，孔的直径为0.5mm；所述的石英棒外表面覆盖一层厚度为20nm的氧化镓薄膜；上述石英棒直径0.5mm固定于石英立方体开孔位置上；所述的金电极最后在石英棒与石英立方体接触的圆孔附近进行真空镀膜，蒸镀金的质量为0.06g。可动态监测紫外光源的氧化镓光电探测器的制备方法，它包括：石英棒涂抹液态金属镓、石英棒紫外曝光、洗去石英棒表面附着以及光电探测器搭建与构筑。所制备的紫外光电探测器具有较高响应度30AW，较高的紫外可见抑制比（800），以及较高的线性度。得益于以上高性能，阵列器件可实现对于光源进行空间位置以及强度的探测，探测误差范围控制在5%内。
主权项：1.可动态监测紫外光源的氧化镓光电探测器，它包括：石英立方体、石英棒；所述的石英立方体为空心的石英立方体，上、下面设有3×3排列的9个开孔；所述的石英棒长度与石英立方体边长相等，且外表面覆盖一层氧化镓薄膜，石英棒通过开孔安装在石英立方体内，两端面设有金电极。
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百度查询： 东北师范大学 一种可监测紫外光源运动的氧化镓光电探测器及其制备方法
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