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摘要：本发明公开了一种用于蓝宝石衬底片抛光后的清洗液，所述清洗液由无机碱性物质，Bola型表面活性剂，分散剂，渗透剂和去离子水组成。本发明通过添加特定的Bola表面活性剂，在分散剂和渗透剂的协同作用下，其具有良好的除蜡、螯合、浸润和高分散效果，更好的阻止了污染物发生团聚而导致的二次污染，能有效清除蓝宝石衬底片研磨抛光后残留的表面颗粒、蜡垢、表面氧化物等各类污染物，清洗效果优异、清洗良率高、操作简单，可广泛应用于蓝宝石衬底片抛光后清洗。
主权项：1.一种用于蓝宝石衬底片抛光后的清洗液，其特征在于，按质量百分含量计，其组成如下：无机碱性物质3%~10%，Bola型表面活性剂1%~5%，分散剂3%~8%，渗透剂3%~8%，余量为水。
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百度查询： 福建省佑达环保材料有限公司 一种用于蓝宝石衬底片抛光后的清洗液
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