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摘要：本发明涉及一种含有二维材料的碳化硅抛光液，其中磨料包括α‑氧化铝和二维材料或仅为二维材料。本发明通过在磨料中引入二维材料，使得抛光液的抛光质量包括结晶性能、抛光速率和抛光表面亦获得很大提升，具有良好的应用前景。
主权项：1.一种含有二维材料的碳化硅抛光液，其特征在于：按重量百分比计，包括如下组分：液相载体：70％-95％；磨料：0.01％-10％；氧化剂：0.01％-5％；pH调节剂：0.01％-0.5％；其中，磨料包括α-氧化铝和二维材料或仅为二维材料。
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百度查询： 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 一种含有二维材料的碳化硅抛光液
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