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摘要：本发明提供一种合成氧化铈复合磨料的方法，包括：1改性金属盐：将一定量的固体酸和金属盐溶于一定量的去离子水中，用氨水调节溶液的pH值在9‑11之间，将所得沉淀进行老化、洗涤、干燥和高温焙烧，即可得到改性后的金属盐粉末；2磨合磨料的合成：将铈盐与改性后的金属盐粉末按一定比例溶于去离子水中，按一定比例加入有机酸、有机碱以及表面活性剂，在120℃下反应4h，将所得沉淀进行洗涤、干燥和煅烧，即可得到经固体酸改性后的球型氧化铈复合磨料。该复合磨料颗粒粒径均一、分散性好、硬度高，且形貌为球型，能够加快晶圆的抛光效率，并降低对碳化硅晶圆表面的划伤，具有广泛的推广应用价值。
主权项：1.一种合成氧化铈复合磨料的方法，其特征在于，包括如下步骤：1改性金属盐：将一定量的固体酸和金属盐溶于一定量的水中，调节溶液的pH值在9-11之间，将所得沉淀进行老化、洗涤、干燥和高温焙烧，即可得到改性后的金属盐粉末；2磨合磨料的合成：将铈盐与改性后的金属盐粉末按一定比例溶于水中，按一定比例加入有机酸、有机碱以及表面活性剂，在100-120℃下反应2-4h，将所得沉淀进行洗涤、干燥和煅烧，即可得到经固体酸改性后的球型氧化铈复合磨料。
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百度查询： 湖北兴福电子材料股份有限公司 一种合成氧化铈复合磨料的方法及化学机械抛光液
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